Материалы, похожие на работу «Литография высокого разрешения в технологии полупроводников»

Литография — Курсовая работа
ЛИТОГРАФИЯ ВЫСОКОГО РАЗРЕШЕНИЯ В ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ Фотолитография. Введение. Оптическая литография объединяет в себе такие области науки, как ...
Другой проблемой ЭЛ- экспонирования (особенно с кварцевым шаблоном) является нагрев резиста, вызывающий искажение изображения, газовыделение из резиста, загрязняющее катод из LaB6 ...
В высококонтрастных резистах края изображения могут быть существенно более резкими, чем это задается значением s . При увеличении зазора между шаблоном и пластиной уход размера ... ...
КАЛУЖСКИЙ ФИЛИАЛ МОСКОВСКОГО ГОСУДАРСТВЕННОГО ТЕХНИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА ИМЕНИ Н.И. БАУМАНА Р Е Ф Е Р А Т по НИРС ЛИТОГРАФИЯ ВЫСОКОГО РАЗРЕШЕНИЯ В ...
Другой проблемой ЭЛ- экспонирования (особенно с кварцевым шаблоном) является нагрев резиста, вызывающий искажение изображения, газовыделение из резиста, загрязняющее катод из LaB6 ...
Зазор между шаблоном и пластиной составляет около 20 мкм, но для субмикронных процессов требуется контакт, так как изолированные элементы изображения не могут быть экспонированы ... ...
Введение Современные полупроводниковые приборы и интегральные микросхемы представляют собой чрезвычайно сложные устройства, отдельные компоненты ...
На нерабочей стороне пластины оставляют структурнодеформированный слой толщиной 5-10 мкм, который обладает свойствами геттера, т. е. способностью поглощать пары и газы из корпуса ...
Из многочисленных способов разделения слитков на пластины (резка алмазными кругами с внутренней или наружной режущей кромкой, электрохимическая, лазерным лучом, химическим ... ...
Государственный комитет российской федерации по высшему образованию Нижегородский технический колледж Лаборатория современного технического офисного ...
1 - фотополупроводниковый слой, 2 - электропроводная основа); б - распределение зарядов в носителе копии; в - экспонирование фотополупроводникового слоя (стрелками обозначены ...
Оптическая система предназначена для плавного перемещения узкого направленного луча света сканирующей лампы по оригиналу, чтобы отраженный от поверхности оригинала пучок фотонов ... ...
Министерство Образования и науки Российской Федерации Благовещенский Государственный Педагогический Университет Реферат. Тема: Голография и ее ...
Ее недостаток - возникновение большого числа изображений, расположенных на оси, совпадающей с главным лучом пучка нулевого дифракционного порядка.
При совмещении действительного изображения искажающего элемента с самим этим элементом происходит восстановление первоначальной формы световой волны и получается неискаженное ... ...
ИСТОРИЯ РАЗВИТИЯ ЭЛЕКТРОНИКИ Автор: Терлецкая Л.И. (Ангарское Опытно Конструкторское Бюро Автоматики) Редакция текста: Шереметьев А.Н.(Ангарская ...
Электронный луч, попадая на поверхность мишени, выбивает вторичные электроны, число которых больше, чем первичных, потому поверхность мишени, обращенная к электронному прожектору ...
После экспонирования удаляют либо облученные области при позитивном резисте, либо не облученные при негативном резисте....
Печатные платы — Реферат
Введение Термин "технология" происходит от двух греческих слов: ((((( - искусство, мастерство, умение и ((((( - наука. В производственных процессах он ...
Процесс резания ускоряют частицы абразива, постепенно обновляемые в зазоре между металлическим диском и полупроводниковой пластиной.
... высокая скорость резания (до 40 мм/мин), хорошее качество обработки поверхности (8 класс шероховатости), малый разброс по толщине пластин ((20 мкм), небольшие отходы материала....
Оптика — Курсовая работа
Оптика Работу выполнила Балтина Елена, 9 "А" класс Министерство общего и профессионального образования Свердловской обл. Управление и образование ...
На место этого изображения помещается фотопленка или фотопластинка (покрытые светочувствительной эмульсией, содержащей бромистое серебро), на некоторое время открывается объектив ...
Для получения качественного изображения большое значение имеет наводка на резкость - совмещение изображения и пленки или пластинки....
МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ Московский государственный университет печати Факультет полиграфической технологии Специальность 281400 ...
Разница состоит в том, что изображение экспонируется на формную пластину, размещенную на формном цилиндре печатной машины, а не в специальном устройстве [4]. Эта технология ...
2. Тоновые оригиналы должны иметь резкое изображение в необходимых деталях с зоной размытого перехода в масштабе репродуцирования менее 100 мкм (для оригиналов с произведений ... ...
Технологические основы электроники Реферат 1. Изобразить и описать последовательность формирования изолированных областей в структуре с ...
В отличие от фотолитографии, где экспонирование производится широкими коллимированными световыми пучками, рентгенолитография не располагает соответствующей "оптикой" и ...
При наличии зазора между шаблоном и подложкой это приводит к искажению размеров и смещению элементов рисунка, передаваемого в слой резиста....
Телевидение — Реферат
ГОСУДАРСТВЕННАЯ АКАДЕМИЯ СФЕРЫ БЫТА И УСЛУГ ИНСТИТУТ ТЕХНИКИ СЕРВИСА Б. С. РОЗОВ Т Е Л Е В И Д Е Н И Е Учебное пособие Москва, 1997 Рецензенты: Волков ...
Там, где был положительный потенциал, расходуется ток луча на дозаряд элементарного конденсатора до потенциала катода и этот ток луча протекает через цепь сигнальной пластины.
Типичным можно считать размер рабочего участка мишени 12,5 ( 9,5 мм2, диаметр луча ( 15 мкм, ток луча ( 0,5 мкА....
смотреть на рефераты похожие на "Разработка технологии по изготовлению книжного издания по искусству " Московский издательско-полиграфический колледж ...
Каждая секция выполняет определённую работу в превращении экспонированной пластины в пластину, полностью проявленную, сухую, готовую к тому, чтобы взять её в руки.
Это означает наивысший показатель оптической плотности Dmax и абсолютную прорисовку деталей по краям изображения в сочетании с низким потреблением химикатов и коротким временем ... ...
1. Изобразить и описать последовательность формирования изолированных областей в структуре с диэлектрической изоляцией Рис. 1. Последовательность ...
В отличие от фотолитографии, где экспонирование производится широкими коллимированными световыми пучками, рентгенолитография не располагает соответствующей "оптикой" и ...
При наличии зазора между шаблоном и подложкой это приводит к искажению размеров и смещению элементов рисунка, передаваемого в слой резиста....
Революция в оптике (лазеры и их применения). Реферат выполнил студент 1 курса 3080 Мизев М. М. Новосибирская Государственная Академия Экономики и ...
Дальнейший прогресс в субмикронной литографии связан с применением в качестве экспонирующего источника света мягкого рентгеновского излучения из плазмы, создаваемой лазерным лучом.
Если теперь происходят какие-то изменения в состоянии объекта (в двух последовательных волнами возникает разность сравнении с тем, что было во время экспонирования голограммы), то ... ...
Лазеры — Реферат
... генераторы - уникальные источники света. 3 1.1 Индуцированное излучение 3 1.2 Принцип действия лазеров 4 1.3 Основные свойства лазерного луча. 5 1.3
Световой пучок 3-3 и немного расходящийся пучок 4-4 не несут информации об объекте наблюдения, и, следовательно, не участвуют в восстановлении голографического изображения.
Если теперь происходят какие-то изменения в состоянии объекта (в двух последовательных волнами возникает разность сравнении с тем, что было во время экспонирования голограммы), то ... ...
... Владимирский Государственный Университет. Кафедра БМИ. РЕФЕРАТ на тему: "Средства визуализации изображений в компьютерной томографии и цифровых ...
1) формирование требуемой ширины рентгеновского луча (коллимирование); 2) сканирование головы пучком рентгеновского излучения, осуществляемого движением
Применяемые в ЦЛР (рис.6) пластины-приемники изображения после их экспонирования рентгеновским излучением последовательно, точка за точкой, сканируются специальным лазерным ... ...
Изготовление печатных форм (общие сведения). 1. Типографская (высокая) печать. В высоком способе печати используются формы с выступающими печатающими ...
Форматная запись изображения является основным способом изготовления форм и заключается в получении копий путем экспонирования изображения с фотоформы на монометаллическую пластину ...
поверхности пластины, Ra, мкм...
ИСТОРИЧЕСКИЙ ОЧЕРК. Еще с середины 40-ых годов , специалисты по радиоэлектроники начали задумываться над возможностью применения специализированных ...
Искажения исходного изображения изменяют интенсивность экспонирующего света, а в нашем распоряжении имеется только нелинейная функция от этих интенсивностей.
Открытие проникающей радиации (рентгеновских лучей, нейтронных пучков и т.д.) дало возможность получать изображения объектов, ранее недоступных или доступных только с помощью ... ...
ВВЕДЕНИЕ Получение достоверных результатов измерений как самих параметров лазеров, так и выходных характеристик лазерных приборов и систем имеет свою ...
где ( - коэффициент отражения пластины; ( - коэффициент пропускания входного окна камеры; l - расстояние от оси пучка излучения до оси вращения; ( - угол падения излучения на ...
В зависимости от электронной системы развертки можно получить 9.12 отдельных кадров (двумерных изображений) с временем экспонирования до 10-9.5(10-13с, что обеспечивается отдельным ... ...
©2007—2016 Пуск!by | По вопросам сотрудничества обращайтесь в contextus@mail.ru