Материалы, похожие на работу «Литография»

КАЛУЖСКИЙ ФИЛИАЛ МОСКОВСКОГО ГОСУДАРСТВЕННОГО ТЕХНИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА ИМЕНИ Н.И. БАУМАНА Р Е Ф Е Р А Т по НИРС ЛИТОГРАФИЯ ВЫСОКОГО РАЗРЕШЕНИЯ В ...
Из трех видов экспонирования (ЭЛ, рентгеновское и ионно-лучевое) ионный пучек имеет самую высокую эффективность, поскольку большая часть его энергии (90 %) может поглотиться ...
Другой проблемой ЭЛ- экспонирования (особенно с кварцевым шаблоном) является нагрев резиста, вызывающий искажение изображения, газовыделение из резиста, загрязняющее катод из LaB6 ... ...
ЛИТОГРАФИЯ ВЫСОКОГО РАЗРЕШЕНИЯ В ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ Реферат по НИРС Выполнил : Тимофеев А. гр. ФТМ-61 КАЛУЖСКИЙ ФИЛИАЛ МОСКОВСКОГО ...
Из трех видов экспонирования (ЭЛ, рентгеновское и ионно-лучевое) ионный пучек имеет самую высокую эффективность, поскольку большая часть его энергии (90 %) может поглотиться ...
Другой проблемой ЭЛ- экспонирования (особенно с кварцевым шаблоном) является нагрев резиста, вызывающий искажение изображения, газовыделение из резиста, загрязняющее катод из LaB6 ... ...
Введение Современные полупроводниковые приборы и интегральные микросхемы представляют собой чрезвычайно сложные устройства, отдельные компоненты ...
На нерабочей стороне пластины оставляют структурнодеформированный слой толщиной 5-10 мкм, который обладает свойствами геттера, т. е. способностью поглощать пары и газы из корпуса ...
Из многочисленных способов разделения слитков на пластины (резка алмазными кругами с внутренней или наружной режущей кромкой, электрохимическая, лазерным лучом, химическим ... ...
ИСТОРИЯ РАЗВИТИЯ ЭЛЕКТРОНИКИ Автор: Терлецкая Л.И. (Ангарское Опытно Конструкторское Бюро Автоматики) Редакция текста: Шереметьев А.Н.(Ангарская ...
Электронный луч, попадая на поверхность мишени, выбивает вторичные электроны, число которых больше, чем первичных, потому поверхность мишени, обращенная к электронному прожектору ...
После экспонирования удаляют либо облученные области при позитивном резисте, либо не облученные при негативном резисте....
Печатные платы — Реферат
Введение Термин "технология" происходит от двух греческих слов: ((((( - искусство, мастерство, умение и ((((( - наука. В производственных процессах он ...
Процесс резания ускоряют частицы абразива, постепенно обновляемые в зазоре между металлическим диском и полупроводниковой пластиной.
... высокая скорость резания (до 40 мм/мин), хорошее качество обработки поверхности (8 класс шероховатости), малый разброс по толщине пластин ((20 мкм), небольшие отходы материала....
Технологические основы электроники Реферат 1. Изобразить и описать последовательность формирования изолированных областей в структуре с ...
В отличие от фотолитографии, где экспонирование производится широкими коллимированными световыми пучками, рентгенолитография не располагает соответствующей "оптикой" и ...
При наличии зазора между шаблоном и подложкой это приводит к искажению размеров и смещению элементов рисунка, передаваемого в слой резиста....
1. Изобразить и описать последовательность формирования изолированных областей в структуре с диэлектрической изоляцией Рис. 1. Последовательность ...
В отличие от фотолитографии, где экспонирование производится широкими коллимированными световыми пучками, рентгенолитография не располагает соответствующей "оптикой" и ...
При наличии зазора между шаблоном и подложкой это приводит к искажению размеров и смещению элементов рисунка, передаваемого в слой резиста....
Государственный комитет российской федерации по высшему образованию Нижегородский технический колледж Лаборатория современного технического офисного ...
1 - фотополупроводниковый слой, 2 - электропроводная основа); б - распределение зарядов в носителе копии; в - экспонирование фотополупроводникового слоя (стрелками обозначены ...
Экспонирование в аппаратах переносного копирования с "посредником" в виде пластины производится статическим способом - отдельными кадрами; в аппаратах с "посредником" в виде ... ...
Московский институт стали и сплавов ( технологический университет) кафедра полупроводниковой электроники и физики полупроводников Домашнее задание ...
Если торец слитка совпадает с заданной кристаллографической плоскостью (111), то счетчик Гейгера, расположенный под углом 2? к падающему рентгеновскому пучку в плоскости падения ...
... 1, и достаточно появления в счетчике в результате ионизационного действия рентгеновских лучей одной пары ионов (электрона и положительного иона), чтобы счетчик сработал, т.е. чтобы ... ...
Структура и адгезионные свойства отверждённых эпоксидных смол СОДЕРЖАНИЕ | Введение........................ ......... |2 | |1. Структура и свойства ...
С помощью электронных линз можно получить сфокусированный пучок электронов на поверхность объекта (электронный зонд).
флюоресцентного) рентгеновского излучения; 6 - область рассеяния рентгеновских лучей и дифракция Косселя; 7-ток образца; 8 - возможное разрешение для рентгеновского ... ...
ВВЕДЕНИЕ Получение достоверных результатов измерений как самих параметров лазеров, так и выходных характеристик лазерных приборов и систем имеет свою ...
6(1010 см/с) достигнута в ЭОПе "Пикохрон-1" за счет использования на отклоняющих пластинах СВЧ-напряжения (( = 3 см); соответственно при разрешающей способности (не экране) 5 лин ...
1.5 мкм), видимых, УФ или рентгеновских лучах....
Аннотация. В дипломном проекте рассмотрен электретный эффект в пленках фторопластата - 4 толщиной 10 мкм с односторонней металлизацией алюминием ...
При использовании внешних электродов наличие воздушных зазоров (которые в случае приложенных к диэлектрику пластин имеют микроскопические размеры) значительно усложняет картину ...
Этот метод основан на использовании гамма и рентгеновских лучей высокой энергии для создания комптоновских электронов....
Эффект Оже. Оже-спектроскопия. Курсовая работа Выполнила: студентка гр. Ф - 31 Хомовненко Е. О. Астраханский Государственный Университет Кафедра ...
Исследумый образец помещают в вакуумную (до 10 -11 мм рт.ст.)камеру и облучают электронными пучками первичных частиц, источниками которых служат электронная пушка, рентгеновская ...
Рентгеновский зонт имеет минимальный диаметр ~150 мкм, сканирующая РОС пока не используется....
Государственный комитет Российской Федерации по высшему образованию. [pic] Кафедра общей физики. Реферат на тему: "Дифракция электронов. Электронный ...
Она формирует пучок быстрых электронов нужного сечения и интенсивности и направляет его на исследуемый объект, находящийся в камере объектов.
Действительно, если в электрографии используется дифракция электронов, то в рентгеноструктурном анализе происходит дифракция рентгеновских лучей на атомных структурах....
Содержание: Путь микроскопии 3 Предел микроскопии 5 Невидимые излучения 7 Электроны и электронная оптика 9 Электроны - волны!? 12 Устройство ...
Она формирует пучок быстрых электронов нужного сечения и интенсивности и направляет его на исследуемый объект, находящийся в камере объектов.
Действительно, если в электрографии используется дифракция электронов, то в рентгеноструктурном анализе происходит дифракция рентгеновских лучей на атомных структурах....
Строение атома — Реферат
... Резерфорда Эрнеста. 4 1. 2. Исследования Нильса Бора. 8 Глава II. Строение атома 12 2.1 Природа электричества. 12 2.2 Электрон 13 2.2.1 Свойства ...
Исследуя пути движения частиц с помощью камеры, Резерфорд заметил, что в камере они параллельны (пути), а при пропускании пучка параллельных лучей через слой газа или тонкую ...
Рентгеновские лучи возникают при ударе быстро летящих электронов о какое- либо твердое тело и отличаются от лучей видимого света только значительно меньшей длиной волны....
... государственный технический университет - УПИ Кафедра "Технология и средства связи" Реферат по курсу "ФОМЭ" Движение электронов- фокусирующие ...
Электронно-лучевыми приборами называют такие электронные электровакуумные приборы, в которых используется поток электронов, сконцентрированный в форме луча или пучка лучей для ...
Далее на пути электронного пучка установлены две пары отклоняющих пластин ОП....
- 3 - _ГЛАВА 1. _я21.Применяемые обозначения. Некоторые формулы, связывающие я2перечисленные величины. 2Электромагнитная теория E - напряженность ...
гии с отражением рентгеновских лучей от кристаллов эти дифрак-
нии объекта параллельным пучком лучей; второй этап - это ин-...
Шпоры по физике — Реферат
Рентгеновское излучение. -коротковолновое эл/магн. изл. (?=10-8-10-12м).КПД не превышает 3%. 2 вида рентгеновского спектра: 1) Сплошные(тормозные ...
Фольга освещалас слабым пучком рентгеновских лучей, под действием к-рых она сама становилась источником рентгеновских лучей(явление рентгеновской флуорисценции).
Узкий пучок моноэнергетических эл-нов направлялся на поверхность монористалла, сошлифованною перпендикулярно к большой диагонали кристалл. решетки....
©2007—2016 Пуск!by | По вопросам сотрудничества обращайтесь в contextus@mail.ru