| |||
Реферат: Технико-экономическое сравнение систем Адаптивного и Массового производств Традиционный подход к организации полупроводникового производства,
который называется Массовая Производственная Система (MMS - Mass [pic] [pic] Кластера очистки, осаждения металлов и литографии находились в конфигурации конвейера. При рассмотрении рисунков 1 и 2 видно, что увеличение уровней загрузки приводит к увеличению темпов производства за счет улучшения использования, но также к ухудшению сроков производства, что объясняется эффектом насыщения. Объединяя рисунки 1 и 2, а также преобразуя темпы производства в себестоимость подложки получаем кривые представленные на рисунке 3. [pic] Как показано на этом рисунке, модель предсказывает, что AMS фабрика, даже в конфигурации технологической зрелости, может производить подложки приблизительно в два раза быстрее, чем MMS фабрика. Минимальная прибыль получаемая от AMS фабрики примерно на 15% выше, чем от MMS фабрики. [pic] Для дальнейшего анализа сравним результаты моделирования AMS и MMS
фабрик сконфигурированных и управляемых на получение быстрых сроков
производства. На обоих фабриках размер партии составлял 6 подложек. Также
на AMS фабрике были изменены конфигурации кластеров, которые теперь были
рассчитаны на серийное производство. В сущности метод анализа ничем не
отличается от уже рассмотренного за исключением того, что конечным
результатом применения этого метода стал рисунок 4. В этом случае модель
предсказывает, что AMS фабрика должна будет производить подложки примерно в
три раза быстрее, чем MMS фабрика (на изгибе кривых). Однако, минимальная
себестоимость подложек на обоих фабриках получается значительно выше Фабрики как AMS, так и MMS работающие в пилотной стадии являются во много раз сложной моделью, чем фабрики с коротким сроком производства или в конфигурации технологической зрелости. Объясняется это тем, что затраты на производственные мощности и на оборудование по контролю за браком становятся выразительной частью всех основных затрат. Причем, эти затраты изменяются в широких пределах (в два и более раз), даже для фабрик работающих в одном и том же технологическом уровне. В добавок, научно- исследовательская база может иметь разнообразное оборудование охватывающее несколько технологических поколений. По этим причинам моделирование фабрик работающих в пилотной стадии не производилось. Затраты на производственные мощности являются первоочередной важностью, что служит причиной для совместного использования производственных мест с высоко-объемными фабриками. Например, маленькая 0.25 мкм фабрика работающая в пилотной стадии может параллельно работать с большой 0.5 мкм фабрикой. Рисунок 5 показывает различие в себестоимостях подложек для области
находящейся слегка справа от рабочих точек кривых на рисунке 3. [pic] Преимущества производства AMS фабрик является результат появления целого ряда доступных технологий. Например, многовариантное независимое управление многозонными лампами недавно сделало технически осуществимым быстрое выращивание и осаждение термической пленки. Стратегия изолированного контроля сделало возможным объединять такие машины друг с другом в последовательность для серийной обработки, которая не должна будет зависеть от интерактивных измерений для того, чтобы поддерживать управление процессом. Для AMS фабрики доступны три главные технологические изменения в производстве: 1). Способность заменить фактически все установки групповой обработки на установки индивидуальной обработки подложек, причем затрачивая на это минимум средств; 2). Возможность сгруппировать эти устройства не подвергаясь значительным потерям в управлении процессом; 3). Снижение времени наладки, особенно в степперах. Адаптивная Производственная Система представляет собой новый подход к альтернативной системе полупроводникового производства, как с точки зрения физического оборудования, так и эксплуатации, что послужило причиной возрастающей важности к основным затратам и срокам производства в добавлении к традиционной себестоимости подложек.
|
|